欧美AAA黄色专场,国产在线无码播放不卡视频,久久国产欧美日韩精品人,午夜免费视频男人的天堂

一、整機(jī)簡述

特點(diǎn)/用途

TEMD600電子束多功能蒸發(fā)鍍膜機(jī)系統(tǒng)具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點(diǎn)。配備E型電子束蒸發(fā)源和2組電阻蒸發(fā)源、可選配在線膜厚檢測系統(tǒng)及離子源清洗及輔助沉積裝置。具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn)。除了常規(guī)低熔點(diǎn)金屬的蒸鍍以外，TEMD600還可以蒸鍍難熔金屬和非金屬材料等可應(yīng)用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。

該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開發(fā)新產(chǎn)品等，深受廣大用戶好評。

二、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)

1.真空腔室

腔室內(nèi)尺寸Φ600×750mm，不銹鋼腔室通水冷卻；

2.真空系統(tǒng)

復(fù)合分子泵+機(jī)械泵系統(tǒng),氣動(dòng)真空閥門，“兩低一高”數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)；

3.極限真空

空載優(yōu)于5.0×10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24小時(shí)）；

4.抽速

空載從大氣抽至5.0×10-4Pa≤40min；

5.漏率

設(shè)備升壓率≤0.8Pa/h；

設(shè)備保壓：停泵12小時(shí)候后，真空≤10Pa；

6.電子槍蒸發(fā)源

功率：8000W；6穴坩堝；

蒸發(fā)源與基片距離≥500mm；

7.電阻蒸發(fā)源

2組金屬蒸發(fā)源；1臺3000W蒸發(fā)電源供2組蒸發(fā)源切換使用；

8.離子源（選配）

Φ200px考夫曼離子源（含電源）1臺；預(yù)留位置，用戶選配；

9.基片臺尺寸

Φ350mm球罩型基片臺；

10.基片旋轉(zhuǎn)

旋轉(zhuǎn)速度：0～20轉(zhuǎn)/分鐘，可調(diào)可控，可加偏壓；

11.基片臺加熱

300℃±1℃；

12.控制方式

PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動(dòng)控制系統(tǒng)； 

13.報(bào)警及保護(hù)

對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng)；

14.占地面積

長×寬: 2500×1600mm。