真空系統(tǒng):國產(chǎn)或進口分子泵+羅茨泵+機械泵高真空系統(tǒng);
極限真空:優(yōu)于8.0×10-5Pa;
抽速:從大氣到5×10-3Pa≤25min, 升壓率關(guān)機12小時后真空度≤10Pa;
真空系統(tǒng):國產(chǎn)或進口分子泵+羅茨泵+機械泵高真空系統(tǒng);
極限真空:優(yōu)于8.0×10-5Pa;
抽速:從大氣到5×10-3Pa≤25min, 升壓率關(guān)機12小時后真空度≤10Pa;
一、產(chǎn)品概述
1、主要用途及應(yīng)用范圍:
該設(shè)備可制TiNCrNAlCrNZrNTiCTiCNTiAlNTiAlCNDLC膜等,非常適合生產(chǎn)企業(yè)大批量在刀具(鉆頭、銑刀、拉刀、絲錐、滾齒刀等)、高精工模具(沖壓模具、剪切模具、成型模具、注塑模具等)及其他關(guān)鍵部件上鍍制單層/多層硬質(zhì)涂層、耐腐蝕涂層等功能薄膜。
2、產(chǎn)品優(yōu)點及特點:
設(shè)備采用全自動的控制方式,先進的工藝流程控制模式,性能穩(wěn)定可靠,操作簡單方便。并集成先進的新型弧源鍍膜技術(shù)和離子輔助前處理鍍膜技術(shù),可鍍高質(zhì)量、成膜致密、結(jié)合力好、硬度高的硬質(zhì)涂層,大幅度提高工具及刀具使用壽命。
二、技術(shù)參數(shù)
真空腔室尺寸 | Φ900×H930mm |
真空系統(tǒng) | 國產(chǎn)或進口分子泵+羅茨泵+機械泵高真空系統(tǒng) |
極限真空 | 優(yōu)于8.0×10-5Pa |
抽速 | 從大氣到5×10-3Pa≤25min, 升壓率關(guān)機12小時后真空度≤10Pa |
工件架尺寸 | 8-12工位,3軸聯(lián)動工件架二套;配專用工件車 |
工件烘烤溫度 | 室溫~500℃,可調(diào)可控(PID控溫) |
配置 | 新型弧源6-12只可選、離子源、偏壓 |
系統(tǒng) | 全自動控制系統(tǒng),個性化的Tech-Coating控制菜單,安全保護系統(tǒng) |
占地面積 | 長×寬:4m×3m |
Products
研博產(chǎn)品中心