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蒸發(fā)鍍膜設(shè)備特點(diǎn)
來(lái)源: | 作者:佚名 | 發(fā)布時(shí)間: 2022-06-06 | 449 次瀏覽 | 分享到:

特點(diǎn):蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是一種在工業(yè)中經(jīng)常使用的薄膜制造設(shè)備。由于蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的特性在薄膜的生產(chǎn)中起著很大的作用,薄膜的生產(chǎn)主要通過(guò)加熱涂層機(jī)中的電子束來(lái)生產(chǎn)。

與傳統(tǒng)的電阻加熱方法相比,鍍膜機(jī)中的電子束加熱方法也有其優(yōu)點(diǎn)。電子束加熱會(huì)產(chǎn)生更高的通量密度,這有利于高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā),并在一定程度上提高蒸發(fā)速度。

在水冷銅坩堝中,蒸發(fā)鍍膜設(shè)備會(huì)將需要蒸發(fā)的原材料放入真空鍍膜機(jī)中,以確保材料不會(huì)受到污染,從而產(chǎn)生高純度的薄膜。

蒸發(fā)鍍膜設(shè)備用于氧化物和金屬涂層:可鍍多層精密光學(xué)薄膜,如AR薄膜、長(zhǎng)波通、短波通、亮膜、彩色薄膜、漸變薄膜等;已廣泛應(yīng)用于手機(jī)玻璃蓋板、相機(jī)、眼鏡、光學(xué)鏡頭、游泳鏡、滑雪鏡、光變磁膜等產(chǎn)品。

它主要由真空涂層室、真空系統(tǒng)和真空測(cè)量?jī)x器組成。真空涂層室主要由鐘蓋、球形行星旋轉(zhuǎn)框架、基板烘烤裝置、磁偏轉(zhuǎn)電子槍、蒸發(fā)板和加熱裝置組成;真空系統(tǒng)主要由機(jī)械泵冷凝泵組成。選擇冷凝泵更容易吸引到高真空狀態(tài),避免油擴(kuò)散泵返回油,污染真空室;用離子規(guī)測(cè)量真空。石墨坩堝用石墨坩堝,避免坩堝和Al反應(yīng)產(chǎn)生化合物,污染Al膜,坩堝位于行星框架框架,因此,確保成膜厚度的均勻性。石英晶體薄膜厚度監(jiān)測(cè)儀用于測(cè)量蒸發(fā)過(guò)程中的薄膜厚度。


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