電子束鍍膜設(shè)備是目前應(yīng)用廣泛的真空設(shè)備。它通常由真空室、真空單元和電氣控制柜組成。排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。公司從事真空涂料設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和高質(zhì)量的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為您解決設(shè)備在使用過(guò)程中遇到的任何問(wèn)題。以下是電子束鍍膜設(shè)備的組成及其工作原理。
根據(jù)加工產(chǎn)品的不同要求，電子束鍍膜設(shè)備的真空主體-真空腔的大小也不同。
輔助泵系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)是涂層機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機(jī)械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）和油擴(kuò)散泵組成。排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣過(guò)程如下:機(jī)械泵將真空腔泵送至小于2.0*10-2PA左右低真空狀態(tài)為擴(kuò)散泵后續(xù)抽真空提供了前提。然后，當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔時(shí)，機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵串聯(lián)，通過(guò)這種方式完成抽氣動(dòng)作。
電子束鍍膜設(shè)備械泵：又稱前泵，應(yīng)用機(jī)械泵一種用油保持密封效果的低真空泵，依靠機(jī)械方法不斷改變泵內(nèi)吸氣腔的體積，使抽氣容器內(nèi)的氣體體積不斷膨脹，獲得真空。
以上就是今日小編為大家介紹的電子束鍍膜設(shè)備的原理各部件分析，感謝大家耐心地閱讀！
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