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JCPF1600
設(shè)備型號(hào)：JCPF1600
鍍膜方式：磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式
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設(shè)備型號(hào)：JCPF1600
鍍膜方式：磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式
一、產(chǎn)品特點(diǎn) / 用途 :
1. 大面積，復(fù)合型，批量制備，潔凈真空不同功能復(fù)合涂層制備，可獲得更高電池轉(zhuǎn)換效率。
2. 廣泛用于鈣鈦礦陽(yáng)能電池及復(fù)合功能薄膜材料制備等應(yīng)用。
3. 技術(shù)先進(jìn)、設(shè)計(jì)優(yōu)化，性價(jià)比高，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低。
二、產(chǎn)品參數(shù) :
設(shè)備型號(hào) | JCPF1600 |
鍍膜方式 | 磁控濺射 |
真空腔室結(jié)構(gòu) | SUS304 方箱式 |
真空腔室尺寸 | L1600×W260×H700mm |
極限真空 | 優(yōu)于 5.0x10-5Pa |
基片臺(tái)尺寸 | 210mmx210mm |
基片溫度 | 常溫 |
膜厚不均勻性 | ≤ ±5.0% |
濺射源 | 矩形靶 2-3 套 DC/RF 電源及偏壓電源 |
膜厚監(jiān)控系統(tǒng) | 國(guó)產(chǎn) / 進(jìn)口（可選） |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可選 ) |
占地面積 | L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
供電總功率 | ≥ 20kW 三相五線制 |
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