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ZHDS500
設(shè)備型號：ZHDS500
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室尺寸：L500mmxW500mmxH650mm
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設(shè)備型號：ZHDS500
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室尺寸：L500mmxW500mmxH650mm
一、產(chǎn)品特點 / 用途 :
1. 大面積，復(fù)合型，批量制備，潔凈真空不同功能復(fù)合涂層制備，可獲得更高電池轉(zhuǎn)換效率。
2. 廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復(fù)合功能薄膜材料制備等應(yīng)用。
3. 技術(shù)先進(jìn)、設(shè)計優(yōu)化，性價比高，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低。
二、技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號 | ZHDS500 |
鍍膜方式 | 金屬 + 有機(jī)蒸發(fā) |
真空腔室結(jié)構(gòu) | SUS304 方箱式，配有前、后門 |
真空腔室尺寸 | L500mmxW500mmxH650mm |
加熱溫度 | 室溫-300℃（選配） |
基片臺尺寸 | 抽屜式:220mmx220mm可旋轉(zhuǎn)、升降、水冷 |
膜厚不均勻性 | ≤±5.0%（210mmx210mm范圍內(nèi)） |
蒸發(fā)源 | 金屬 2 組 + 有機(jī) 4 組或更多，有機(jī)配溫控式加熱電源，金屬電源 （國產(chǎn)或進(jìn)口） |
晶振膜厚監(jiān)控儀 | 國產(chǎn)或進(jìn)口 多探頭可選 |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可選 ) |
占地面積 | L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
總功率 | ≥ 10kW 三相五線制 |
Products
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