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鈣鈦礦實(shí)驗(yàn)設(shè)備ZHDS400
設(shè)備型號(hào)：ZHDS400
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門
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設(shè)備型號(hào)：ZHDS400
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門
鍍膜方式：金屬 + 有機(jī)蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門
金屬蒸發(fā)源
有機(jī)蒸發(fā)源
一、產(chǎn)品特點(diǎn) / 用途
1. 技術(shù)先進(jìn)、設(shè)計(jì)優(yōu)化，性價(jià)比高，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低；
2. 適用于蒸發(fā)鍍膜磁控濺射與手套箱環(huán)境有機(jī)融合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝無縫對(duì)接，廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池 /OPV 有機(jī)太陽能電池及 OLED 薄膜等研究系統(tǒng)等。
二、技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào) | ZHDS400 |
鍍膜方式 | 金屬 + 有機(jī)蒸發(fā) |
真空腔室結(jié)構(gòu) | SUS304 方箱式，配有前、后門 |
真空腔室尺寸 | L400mm×W440mm×H450mm |
加熱溫度 | 室溫 -300℃（選配） |
基片臺(tái)尺寸 | 抽屜式 :120mm×120mm可旋轉(zhuǎn)、升降、水冷 |
膜厚不均勻性 | ≤ ±5.0% |
蒸發(fā)源 | 金屬 2 組 + 有機(jī) 4 組或更多；有機(jī)配溫控式加熱電源，金屬電源國產(chǎn)或進(jìn)口 |
晶振膜厚監(jiān)控儀 | 國產(chǎn)或進(jìn)口 多探頭可選 |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可選 ) |
占地面積 | L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
總功率 | ≥ 10kW 三相五線制 |
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