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熱絲金剛石設備

熱絲金剛石設備

真空腔室尺寸:立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷;
真空腔室尺寸:Φ600×H500mm;
基片臺尺寸:Φ200mm;
襯底溫度:600~1100℃;

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真空腔室尺寸:立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷;
真空腔室尺寸:Φ600×H500mm;
基片臺尺寸:Φ200mm;
襯底溫度:600~1100℃;

產(chǎn)品概述:

1.適用范圍:適用于各單位實驗室、高校實驗室、教學等項目的科研、產(chǎn)品中試。

2.產(chǎn)品優(yōu)點和特點:熱絲金剛石設備采用熱絲化學氣相沉積技術(shù),已應用于國內(nèi)許多熱絲生產(chǎn)線。該設備生產(chǎn)了大型片狀多晶金剛石厚膜,取得了相當大的經(jīng)濟效益。熱絲金剛石設備適用于工業(yè)生產(chǎn)、科研、教學和產(chǎn)品試驗。

3.主要用途:用于生長毫米級金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石薄膜、氮化硅和氧化硅薄膜。納米金剛石薄膜和微晶金剛石薄膜沉積在切割工具、鉆頭、絲錐等表面。也可以制備硼金剛石電極、BBD電極和金剛石電極膜。

參數(shù):

型號

HF600

真空腔室結(jié)構(gòu)

立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷

真空腔室尺寸

Φ600×H500mm

基片臺尺寸

Φ200mm

襯底溫度

600~1100℃

電源

DC

控制方式

PC+PLC+觸摸屏控制

占地面積

主機L1620×W1060×H1900mm

總功率

≥43KW



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