加熱溫度:室溫~300℃;
真空腔室尺寸:Φ500×H650mm;
膜厚不均勻性:≤±5.0%;
真空腔室結(jié)構(gòu):立式圓柱形側(cè)開(kāi)門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng);
加熱溫度:室溫~300℃;
真空腔室尺寸:Φ500×H650mm;
膜厚不均勻性:≤±5.0%;
真空腔室結(jié)構(gòu):立式圓柱形側(cè)開(kāi)門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng);
蒸發(fā)鍍膜機(jī)工作原理是將鎢板制成船形,安裝在兩個(gè)電極之間,在鎢舟中心加藥,然后慢慢給電極通電,電流通過(guò)鎢舟和鎢電加熱。這些低壓和高電流使鎢舟產(chǎn)生熱量,然后傳熱到涂層材料上。該方法操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,適用于當(dāng)鎢槽中的熱量高于涂層熔點(diǎn)時(shí),材料升華或蒸發(fā)。因此,它被許多設(shè)備使用,但由于其密封性能差,以及許多材料不能蒸發(fā),因此它有一些局限性。當(dāng)鎢合金蒸發(fā)涂層材料時(shí),材料的熔點(diǎn)必須小于其熔點(diǎn),否則不能進(jìn)行。
產(chǎn)品概述:
1.適用:高校、科研院所和企業(yè)開(kāi)展薄膜新材料科研和小批量制備。
2.產(chǎn)品特點(diǎn)/用途:
綜合設(shè)計(jì),占地面積小,性價(jià)比高,性能穩(wěn)定,使用維護(hù)成本低;
適用于制備金屬單膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜、生產(chǎn)線早期工藝試驗(yàn)等。
適用于光學(xué)膜、導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜、鐵電膜等的制備。
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