隨著涂層技術(shù)的發(fā)展,各種真空蒸發(fā)涂層設(shè)備逐漸出現(xiàn)。無(wú)論哪種真空蒸發(fā)涂層設(shè)備,薄膜的均勻性都會(huì)受到一些因素的影響?,F(xiàn)在,我們使用磁性濺射涂層機(jī)來(lái)分析薄膜不均勻的因素。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的不均勻泵送會(huì)影響涂層的均勻性。清潔底座非常重要。在真空涂層之前,應(yīng)仔細(xì)清潔底座表面,以達(dá)到工作部件的除油、去污和脫水的目的。基底表面污染來(lái)自各種灰塵、油、拋光膏、汗?jié)n等。附著在零件上進(jìn)行加工和運(yùn)輸。在潮濕的環(huán)境中,基底表面容易氧化,形成氧化膜吸收氣體。這些污垢可以通過(guò)去除油或化學(xué)方法來(lái)去除。清潔的基底不應(yīng)直接放置在外部,而應(yīng)儲(chǔ)存在封閉的容器中,以減少污染。灰塵會(huì)積聚在涂層室內(nèi),因此清潔涂層室、烘烤和脫氣,并將機(jī)器放置在干凈的環(huán)境中。注意擴(kuò)散泵的原材料,如樹(shù)脂、聚合物等。
蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的熱蒸發(fā)系統(tǒng)主要是指成膜裝置。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備有許多成膜裝置,包括電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子電鍍等。我們將介紹電阻加熱和電子槍蒸發(fā),因?yàn)樗鼈儽粡V泛使用。從其結(jié)構(gòu)和工作原理來(lái)看,電阻蒸發(fā)是目前應(yīng)用廣泛的蒸發(fā)方式。
它的工作方式是將鎢片制成船,然后安裝在兩個(gè)電極之間,在船的中心添加藥材,然后慢慢通電。電流通過(guò)船只加熱。這些低壓和高電流使熔點(diǎn)高的船舶產(chǎn)生熱量,然后將熱量傳遞給涂層材料。當(dāng)船舶的熱量高于涂層材料的熔點(diǎn)時(shí),材料是華麗的或蒸發(fā)的。該方法操作方便,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,使用方便。當(dāng)鎢船蒸發(fā)涂層材料時(shí),材料的熔點(diǎn)必須低于鎢船的熔點(diǎn),否則不能進(jìn)行。
為什么蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配備冷水機(jī)?
這取決于蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的工作原理:薄膜材料在高溫下蒸發(fā),落入工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜分子產(chǎn)生阻力,導(dǎo)致碰撞,使晶體粗糙和暗淡,因此有必要使晶體在高真空下變小和明亮。真空度低,晶體失去光澤,結(jié)合力差。冷水機(jī)組配備制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng),水溫可達(dá)5℃~30℃范圍內(nèi)的調(diào)節(jié)和控制可以達(dá)到高精度、高效溫度控制的目的。冷卻原理是冷卻系統(tǒng)冷卻水,然后將低溫冷卻水從水泵送到真空涂層機(jī)進(jìn)行冷卻。水冷卻器的冷凍水帶走熱量,加熱后流回水箱,達(dá)到冷卻效果。
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