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       電子束鍍膜設(shè)備真空熱處理是指金屬零件在真空或真空后通過惰性氣體加熱，然后在油或氣體中淬火冷卻的技術(shù)。由于真空熱處理，工件基本不氧化，鋼件不脫碳，通風(fēng)對流加熱也能使加熱均勻，降低表面和心臟之間的溫差，從而減少畸變。目前，電子束鍍膜設(shè)備已成為高質(zhì)量模具不可缺少熱處理工藝。更有價值的是，真空熱處理在生產(chǎn)過程中不會產(chǎn)生任何污染環(huán)境的物質(zhì)，因此被公認為清潔生產(chǎn)技術(shù)的范疇。毫不夸張地說，真空熱處理已成為先進熱處理生產(chǎn)技術(shù)的主要標志。

在真空條件下加熱工件，主要依靠輻射。由于輻射傳熱與溫度的4倍方成比例，在850℃以下輻射效果不高，工件加熱速度慢；其次，由于金屬材料中的一些合金元素在低壓下蒸發(fā)損失，會導(dǎo)致表面合金元素的缺乏，從而影響淬火后的表面性能。對流加熱技術(shù)是指將真空涂層設(shè)備的真空爐提取到一定的真空度，然后通過0.1-0.2MPa的惰性（Ar，He），中性（N2）或還原性（H2)氣體，并在充分攪拌條件下進行加熱，與單純真空條件相比，加熱速度至少可提高一倍。

高碳、高合金模具鋼真空涂層設(shè)備真空加熱奧氏體化后惰性，中性或還原性氣體淬火冷卻為惰性。淬火冷卻是保證中性或還原性氣體質(zhì)量的可行途徑。但負壓和常壓下的空氣冷卻不能使大型工件或批量爐材料獲得良好的淬火效果。一種是氣體本身也需要冷卻，另一種是在有限的體積條件下增加氣體的冷卻能力，只有通過增加冷卻氣體的量，即增加冷卻氣體的壓力。