在高真空下，電子槍燈絲加熱發(fā)射熱電子，加速陽極加速，獲得大動(dòng)能轟擊蒸發(fā)材料，將動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱蒸發(fā)材料氣化，實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)涂層。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極和電子加速作為陽極的涂層材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可以高度集中，使涂層材料在局部高溫下蒸發(fā)。通過調(diào)子束的功率，可以很容易地控制涂層材料的蒸發(fā)率，特別是高熔點(diǎn)、高純金屬和化合物材料。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是工業(yè)上常用的薄膜制造設(shè)備。由于蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)，薄膜生產(chǎn)主要由涂層機(jī)中電子束的加熱產(chǎn)生。
1.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn)。
①與傳統(tǒng)的電阻加熱方法相比，涂層機(jī)中的電子束加熱方法。電子束加熱產(chǎn)生更高的通量密度，有利于高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā)，并在一定程度上提高蒸發(fā)率。
②蒸發(fā)鍍膜機(jī)工作時(shí)，將需要蒸發(fā)的原料放入水冷銅坩堝中，保證材料免受污染，制作高純度薄膜。
③電子束蒸發(fā)粒子動(dòng)能大，有利于膜的精度和結(jié)合力。
2.蒸發(fā)鍍膜機(jī)的缺點(diǎn)。
①蒸發(fā)鍍膜機(jī)整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格高于其他涂層設(shè)備。
②當(dāng)蒸發(fā)鍍膜機(jī)工作時(shí)，如果蒸發(fā)源附近的蒸汽密度相對較高，電子束流和蒸汽顆粒會(huì)相互作用，影響電子通量，導(dǎo)致電子通量損失或偏離軌道。它還能刺激蒸汽和殘留氣體，從而影響整個(gè)薄膜的質(zhì)量。
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