磁控濺射鍍膜設(shè)備的主要優(yōu)點(diǎn)
實(shí)用性：
設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可放置在實(shí)驗(yàn)桌面上；
通過更換設(shè)備上下法蘭，可轉(zhuǎn)換磁控和蒸發(fā)功能，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用；
方便：
設(shè)備拆卸部分即插即用，接線、安裝、調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備的使用方便，又保證了設(shè)備的清潔度；
設(shè)備可通過4個(gè)KF40接口將主機(jī)放入手套箱、水、電、氣等連接到手套箱外，與手套箱連接靈活方便；
設(shè)備工作電壓為220V，整機(jī)功率小于2KW，實(shí)驗(yàn)室供電要求低；
穩(wěn)定性：
磁控濺射鍍膜設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或國內(nèi)知名品牌，保證設(shè)備質(zhì)量和穩(wěn)定性；
先進(jìn)性：
獨(dú)立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維護(hù)模式；
控制系統(tǒng)具有泄漏自檢和提示功能。當(dāng)設(shè)備泄漏時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)提示設(shè)備泄漏，以便用戶檢查泄漏，確保設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；
控制系統(tǒng)具有維護(hù)提示功能。設(shè)備運(yùn)行一段時(shí)間后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)提示設(shè)備維護(hù)，保證設(shè)備的正常穩(wěn)定運(yùn)行；
控制系統(tǒng)具有通信故障自檢功能。系統(tǒng)自檢分子泵、濺射電源、真空規(guī)、電機(jī)、流量計(jì)等部件的通信。如有故障，可按系統(tǒng)各部件的故障查詢方法查詢，及時(shí)確認(rèn)故障原因，確保設(shè)備安全；
控制系統(tǒng)具有數(shù)據(jù)記錄和導(dǎo)出功能?？刂葡到y(tǒng)記錄設(shè)備的操作記錄和涂層工藝數(shù)據(jù)。您可以在系統(tǒng)中查看或使用U盤導(dǎo)出數(shù)據(jù)；
系統(tǒng)具有三級(jí)密碼保護(hù)功能，不同級(jí)別、不同使用權(quán)限，保證設(shè)備安全和數(shù)據(jù)保密；
磁控濺射鍍膜設(shè)備安裝條件
供電要求。
設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；
插座距設(shè)備尺寸≤2m；
其他：如果用戶選擇冷卻循環(huán)水機(jī)或其他購買部件，用戶應(yīng)在安裝條件范圍內(nèi)準(zhǔn)備附件供電要求；
供水要求。
設(shè)備所需水冷部件有磁控靶、膜厚儀探頭（如膜厚控制系統(tǒng)）；
水壓0.2~0.4MPa，水溫10~25℃；
安裝現(xiàn)場尺寸要求。
設(shè)備尺寸為：長×寬：L60cm×W60cm，建議安裝現(xiàn)場尺寸≥L60×W80cm。
其他要求。
環(huán)境溫度：5~40℃；
環(huán)境濕度：85%R.H；
室內(nèi)無大量灰塵，無腐蝕性，易燃易爆氣體。
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