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電阻蒸發(fā)鍍膜機的工作原理是什么?
來源: | 作者:佚名 | 發(fā)布時間: 2022-05-10 | 531 次瀏覽 | 分享到:

電阻蒸發(fā)鍍膜機的工作原理是什么?

電阻蒸發(fā)鍍膜機應(yīng)用廣泛,涉及各個行業(yè),深受大家的喜愛。那么它的工作原理是什么呢?下面小編給大家詳細(xì)介紹一下,希望對大家有所幫助:

電阻蒸發(fā)鍍膜機主要是指需要在高真空度下進(jìn)行的涂層,包括多弧離子真空涂層設(shè)備、真空離子蒸發(fā)、光學(xué)涂層機、磁控濺射、MBE分子束延伸、PLD激光濺射沉積等。真空涂層的工作原理是膜在高溫下蒸發(fā),落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對蒸發(fā)膜分子的阻力,晶體必須在高真空下細(xì)致明亮。如果真空度不高,晶體就會失去光澤,結(jié)合力也很差。早期真空涂層依賴于蒸發(fā)體的自然散射,結(jié)合差,效果低,光澤差?,F(xiàn)在加上中頻磁控濺射目標(biāo),在電場的作用下加速膜的蒸發(fā)分子,濺射大量的靶原子,中性靶原子(或分子)沉積在基板上,解決了過去自然蒸發(fā)無法加工的膜品種,如鈦鋯等。

從對電子在不均勻電磁場中的運動規(guī)律的深入研究,探討了磁控濺射的一般原理和磁場的橫向不均勻性和對稱性,這是磁約束的根本原因。磁控濺射可被認(rèn)為是涂層技術(shù)中突出的成就之一。其特點是濺射率高,基板溫升低,膜-基結(jié)合力好,設(shè)備性能穩(wěn)定。由于頻率高,電流大,中頻設(shè)備必須加冷卻水冷卻。當(dāng)導(dǎo)體流動時,電流具有集皮效應(yīng),電荷會聚集在導(dǎo)體表面積,使導(dǎo)體加熱,因此導(dǎo)體中間的中孔管用于加水冷卻。

冷水機可以控制真空涂層機的溫度,以確保涂層部件的高質(zhì)量。如果沒有冷水機,真空涂層機就無法達(dá)到高精度、高效控制溫度的目的,因為自然水和水塔的散熱不可避免地會受到自然溫度的影響,這種控制方法非常不穩(wěn)定。


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