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 蒸發(fā)鍍膜設備真空泵的工作材料主要分為機械泵、蒸汽流泵、吸氣劑和吸氣泵材料、泵工作液、低溫泵、陷阱冷凍劑等。真空泵油一般可分為五類：油烴、酯、鹵化碳氫化合物、硅油和酰。

其中，由于水環(huán)泵、擴散泵、噴射泵、分子泵和機械泵使用的密封液和工作液是水、油和汞。因此，在真空系統(tǒng)中，擴散泵和蒸汽噴射泵主要依靠工作液蒸汽進行擴散或噴射泵真空工作。因此，在泵的鍋爐工作溫度下，如果工作液要有足夠的蒸汽壓力，但由于室溫下的油蒸氣可能會擴散到蒸發(fā)涂層設備的真空室，這已成為限制極限真空的主要問題。因此，除了蒸汽壓力特性外，擴散泵和蒸汽噴射泵還需要抗氧化性、熱穩(wěn)定性和室溫下適中的流動性。

對于吸氣泵、吸氣泵等材料，以濺射離子泵和升華泵為例，其工作金屬材料主要為鉬、鈦、鎂、鈮、鉭等金屬，用作各種離子泵和吸氣泵的工作金屬。

以電子管中使用的吸氣劑為例，一般分為兩種類型：蒸離型和非蒸離型。蒸離吸氣劑有時也被稱為閃燒吸氣劑或擴散吸氣劑，如鍶、鈣、鋇、鎂等材料，其中鋇是常用的真空吸氣劑材料之一。非蒸離吸氣劑有時也被稱為體積吸氣劑或涂層吸氣劑，如：鯰魚、鈦、鋯等材料，其中鋯是常用吸氣劑的主要物質。近年來，國內外發(fā)展的非蒸離鋯鋁、蒸離氮吸氣劑、鋯石墨吸氣劑等真空吸氣劑具有良好的吸氣效果。

以上就是小編今日為大家介紹的蒸發(fā)鍍膜設備，感謝大家耐心地閱讀！